金屬氧化物半導體式傳感器利用被測氣體的吸附作用，改變半導體的電導率，通過電流變化的比較，激發報警電路。由於半導體式傳感器測量時受環境影響較大，輸出線形不穩定。金屬氧化物半導體式傳感器，因其反應十分靈敏，故目前廣泛使用的領域為測量氣體的微漏現象。
氣體檢測儀的使用環境是比較惡劣的，周圍都是各種汙染氣體。傳感器則是氣體檢測變壓器的核心部位，是檢測氣體濃度的關鍵所在，隨著不同的檢測原理，傳感器也不盡相同。
特性
氣體傳感器是化學傳感器的一大門類，從空氣室內品質偵測器工作原理、特性分析到測量技術，從所用材料到制造工藝，從檢測對象到應用領域，都可以構成獨立的分類標准，衍生出一個個紛繁龐雜的分類體系，尤其在分類標准的問題上還沒有統一，要對其進行嚴格的系統分類難度頗大。
1、穩定性
穩定性是指傳感器在整個工作時間內基本響應的穩定性，取決於零氣體偵測器校正點漂移和區間漂移。零點漂移是指在沒有目標氣體時，整個工作時間內傳感器輸出響應的變化。區間漂移是指傳感器連續置於目標氣體中的輸出響應變化，表現為傳感器輸出信號在工作時間內的降低。理想情況下，一個傳感器在連續工作條件下，每年零點漂移小於10%。
2、靈敏度
靈敏度是指傳感器輸出變化量與被測輸入變密合度化量之比，主要依賴於傳感器結構所使用的技術。大多數氣體傳感器的設計原理都采用生物化學、電化學、物理和光學。首先要考慮的是選擇一種敏感技術，它對目標氣體的閥限制(TLV-thresh-oldlimitvalue)或最低爆炸限(LEL-lowerexplosivelimit)的百分比的檢測要有足夠的靈敏性。
3、選擇性
選擇性也被稱為交叉靈敏度。可以通過測量由某一種濃度的固定式氣體偵測器幹擾氣體所產生的傳感器響應來確定。這個響應等價於一定濃度的目標氣體所產生的傳感器響應。這種特性在追蹤多種氣體的應用中是非常重要的，因為交叉靈敏度會降低測量的重複性和可靠性，理想傳感器應具有高靈敏度和高選擇性。
4、抗腐蝕性
抗腐蝕性是指傳感器暴露於高體積分數目標氣體中的能力。在氣體大量泄漏時，探頭應能夠承受期望氣體體積分數10~20倍。在返回正常工作條件下，傳感器漂移和零點校正值應盡可能小。
氣體傳感器的基本特征，即靈敏度、選擇性以及穩定性等，主要通過材料的選擇來確定。選擇適當的材料和開發新材料，使氣體傳感器的敏感特性達到最優。
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